《基於大面積掃描探針顯微鏡的微加工機理研究》是依託東南大學，由朱紀軍擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：基於大面積掃描探針顯微鏡的微加工機理研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：朱紀軍
- 依託單位：東南大學
- 負責人職稱：副教授
- 批准號：59905006
- 研究期限：2000-01-01 至 2002-12-31
- 申請代碼：E0509
- 支持經費：12（萬元）
中文摘要
首次提出基於大面積掃描探針顯微鏡的微加工技術。這種微加工技術是將微細三維銑削技術AFM探針刻畫技術及精密電鑄技術複合，既提高了零件的精度，又降低了其製造成本。本項肯低逞芯課⑾趕誠骷庸さ幕懟FM刻畫的機理及微細電鑄的機理，以及各種工藝參數對零件質量的影響。本研究為微細加工提出了新思路。國際、國內尚屬空白。
