《基於外差干涉測量技術的嚴格光柵拼接方法》是依託清華大學，由曾理江擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：基於外差干涉測量技術的嚴格光柵拼接方法
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：曾理江
- 項目類別：面上項目
- 負責人職稱：教授
- 批准號：60578001
- 申請代碼：F0508
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 支持經費：25（萬元）
項目摘要
大尺寸衍射光柵是許多大型工程項目急需的關鍵元件，而用目前的光柵製造技術製造口徑大於1米的光柵幾乎是不可能的。光柵拼接不僅能降低光柵製造成本，而且由於小光柵的質量比大光柵更容易控制，拼接光柵更有利於提高整個光柵質量。光柵拼接技術開闢了大光柵製造的新途徑。光柵拼接分為近似拼接和嚴格拼接。由於嚴格拼接方法對測量精度要求高，目前這方面的實驗研究還屬空白。本申請提出基於外差干涉技術的嚴格光柵拼接方法，以獲得高精度的拼接光柵。其特點在於：利用光柵的反射特性和衍射特性，解決拼接光柵共面調整與間隔調整的誤差分離問題；用參考光柵連線拼接光柵的相位，解決拼接光柵間隔為光柵周期整數倍的測量問題；用移動參考光柵產生外差信號，解決光柵拼接時的高精度位相測量問題。用這種方法拼接的光柵除了一個光柵周期整數倍的縫隙之外與一塊光柵一樣，可當單光柵使用。本申請還提出用於定量檢測拼接效果的檢測方法。
