《基於原子力顯微鏡的納米機械加工與檢測技術》是2012年12月哈爾濱工業大學出版社出版的圖書，作者是董申，孫濤，閆永達。
基本介紹
- 書名：基於原子力顯微鏡的納米機械加工與檢測技術
- 作者：董申，孫濤，閆永達
- ISBN：978-7-5603-3861-3
- 類別：F.航天科學工程與自動控制類
- 頁數：300
- 定價：68.00元
- 出版社：哈爾濱工業大學出版社
- 出版時間：2012.12
- 開本：16
- 責編：田 秋
- 中圖分類：航空、航天
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
基於原子力顯微鏡（AFM）的納米機械加工與檢測技術是近年來飛速發展的一個研究領域。本書主要把作者課題組近年來的相關研究工作做了一個階段性的歸納和總結，內容包括：納米機械加工表面的微觀形貌檢測方法；納米機械加工表層形成機理；基於AFM的納米機械加工技術；基於AFM的工程套用。
本書對從事納米加工技術、納米檢測技術以及超精密加工工藝等的研究人員有重要的參考價值，同時也可作為機械類研究生的參考書。
圖書目錄
第1篇 納米機械加工表面的微觀形貌檢測方法
第1章 納米機械加工表面微觀形貌檢測方法
1.1 表面微觀形貌的評價方法與評價體系
1.2 超光滑表面微觀形貌檢測儀器分析與選擇
1.2.1 觸針式表面測量技術
1.2.2 光學式表面測量技術
1.2.3 掃描顯微鏡表面測量技術
1.3 表面微觀形貌的檢測與結果分析
1.3.1 典型表面微觀形貌測量儀器
1.3.2 表面形貌的檢測實驗
1.3.3 表面形貌檢測結果分析
1.4 納米機械加工表面形貌測量技術發展
參考文獻
第2章 三維表面微觀形貌的表征與檢測
2.1 三維表面微觀形貌的檢測技術與國際標準表征
2.1.1 三維表面測量和分析中涉及的幾個問題
2.1.2 三維表面形貌的表征參數
2.2 三維表面微觀形貌的譜矩表征
2.3 輪廓/表面功率譜密度理論及套用
2.3.1 功率譜密度定義及其計算方法
2.3.2 套用功率譜密度理論對比不同測量儀器結果
2.3.3 套用功率譜密度理論研究超精密加工工藝
2.4 三維表面微觀形貌的分形表征及套用
2.4.1 三維分形維數的計算
2.4.2 幾種工程表面的分形維數測量
2.5 原子力顯微鏡的採樣條件參數最佳化
2.5.1 方法描述
2.5.2 套用頻譜分析確定採樣條件的實驗
2.5.3 套用頻譜分析確定合理採樣條件的步驟
參考文獻
第2篇 納米機械加工表層形成機理
第3章 納米機械加工的分子動力學建模與仿真
3.1 晶體銅納米加工的分子動力學模型
3.2 分子動力學基本原理
3.2.1 經典牛頓運動方程的求解方法
3.2.2 描述原子相互作用的勢能函式
3.2.3 模擬實驗條件的系綜
3.2.4 其他設定
3.3 晶體銅建模技術
3.3.1 晶體結構
3.3.2 單晶銅建模
3.3.3 雙晶銅建模
3.3.4 納米晶銅建模
3.4 晶體缺陷
3.4.1 晶體缺陷分類
3.4.2 位錯缺陷
3.5 晶體缺陷分析技術
3.5.1 中心對稱參數（CSP）
3.5.2 共近鄰分析（CNA）
3.5.3 Ackland鍵角分析（BAD）
參考文獻
第4章 晶體銅納米機械加A工機理
4.1 納米機械加工單晶銅
4.1.1 單晶銅納米機械加工機理
4.1.2 其他參數對納米機械加工單晶銅的影響
4.2 納米機械加工雙晶銅
4.2.1 包含任意晶界的雙晶銅納米機械加工機理
4.2.2 包含孿晶界的雙晶銅納米機械加工機理
4.3 納米機械加工納米晶體銅
4.3.1 全三維納米晶體銅納米機械加工機理
4.3.2 準三維柱狀納米晶體銅納米機械加工機理
參考文獻
第5章 納米機械加工亞表面損傷層的定量預測
5.1 晶體銅納米機械加工亞表面損傷層形成機理
5.2 基於單個原子勢能的亞表面變形層定量預測
5.2.1 原子勢能的變化模型
5.2.2 基於原子勢能的變化模型的亞表面損傷層定量預測
第3篇 基於AFM的納米機械加工技術
第4篇 基於AFM的工程套用
術語索引
