固態源分子束外延

固態源分子束外延是對化合物半導體薄膜而言，各組分均採用固體源物質的分子束外延生長的技術。

中文名稱	固態源分子束外延
英文名稱	solid source molecular beam epitaxy，SSMBE
定　　義	對化合物半導體薄膜而言，各組分均採用固體源物質的分子束外延生長的技術。
套用學科	材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）

• 套用學科
  
• 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）