四探針測試技術

四探針測試技術，簡稱為四探針法，是測量半導體電阻率最常用的一種方法。

基本介紹

• 中文名：四探針測試技術
• 外文名：Four-point probe
• 簡稱：四探針法
• 簡介：是測量半導體電阻率最常用的方法

四探針測試技術，是用4根等間距配置的探針扎在半導體表面上，由恆流源給外側的兩根探針提供一個適當小的電流I，然後測量出中間兩根探針之間的電壓V，就可以求出半導體的電阻率。對於厚度為W（遠小於長和寬）的薄半導體片，得到電阻率為ρ=ηW(V/I)，式中η是修正係數。特別，對於直徑比探針間距大得多的薄半導體圓片，得到電阻率為ρ= (π/ln2)W(V/I)= 4.532 W(V/I) [Ω-cm]，其中W用cm作單位。