單片積體電路

單片積體電路是獨立實現單元電路功能，不需外接元器件的積體電路。要實現單片集成，需要解決一些不易微小型化的電阻、電容元件和功率器件的集成，以及各元件在電路性能上互相隔離的問題。

基本介紹

• 中文名：單片積體電路
• 外文名：monolithic integration
• 關鍵字：信息科學
• 工藝：超大規模積體電路

概述

名稱: 單片積體電路 （monolithic integration）

關鍵字

主題詞或關鍵字: 信息科學 砷化鎵 積體電路

工藝

單片積體電路從小、中規模發展到大規模、超大規模積體電路，使平面工藝得到相應的發展。如摻雜技術由擴散改為離子注入，常規紫外光刻發展到電子束曝光、電漿刻蝕和反應離子銑，常規氣相外延改為超高真空分子束外延，採用化學氣相沉積製造二氧化矽和多晶矽膜等。單片積體電路除向更高集成度發展外，也正向著線性、大功率、高頻電路和模擬電路方向發展。

電片集成