單晶矽超精密加工技術仿真

《單晶矽超精密加工技術仿真》是2020年機械工業出版社出版的圖書。

基本介紹

  • 中文名:單晶矽超精密加工技術仿真
  • 作者:史立秋
  • 出版時間:2020年
  • 出版社:機械工業出版社
  • ISBN:9787111650911

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