《周期性多層膜光柵的軟X射線衍射物理的研究》是依託中國科學技術大學，由劉文漢擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：周期性多層膜光柵的軟X射線衍射物理的研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：劉文漢
- 依託單位：中國科學技術大學
- 負責人職稱：教授
- 批准號：19574044
- 研究期限：1996-01-01 至 1998-12-31
- 申請代碼：A2208
- 支持經費：8（萬元）
中文摘要
本項目對軟X射線多層膜的微結構和多層膜光柵的衍射特性進行了研究。實驗得出濺射法製備的Mo/Si多層膜中Mo、Si層間的界面不是平滑尖銳的，而是有Mo/Si混和的非晶界面層。因而，考慮軟X射線多層膜光柵的衍射特性時採用X射線衍射運動學是比較合適的。用這理論得出了軟X射線多層膜光柵的散射強度公式，進而導出了衍射峰存在的條件為要求波長、掠入射角與d（光柵常數）、D（多層膜周期）之間滿足於不同於Brgg定律的一關係式。與通常的光柵不同，它要求波長、入射角與選擇的衍射級次之間有確定的關係，並能接需要將衍射能量集中在非零的某一級次上。它又保持了多層膜的高反射率和光柵的高解析度。在同步輻射實驗室的實驗結果與理論相符合。
