同濟博士論叢——極紫外與軟X射線多層膜偏振元件研究

《同濟博士論叢——極紫外與軟X射線多層膜偏振元件研究》是2017年8月1日同濟大學出版社出版的圖書，由伍江，雷星暉編寫。

基本介紹

• 中文名：同濟博士論叢——極紫外與軟X射線多層膜偏振元件研究
• 作者：伍江，雷星暉
• 出版時間：2017年8月1日
• 出版社：同濟大學出版社
• ISBN：9787560869322

內容簡介

　針對極紫外和軟X射線常規周期多層膜偏振元件頻寬窄的測試困難的現狀，《極紫外與軟X射線多層膜偏振元件研究/同濟博士論叢》首次提出了非周期多層膜寬頻偏振光學元件的方法，克服了常規周期多層膜頻寬窄、測試時元件需要平移或旋轉的難題。

　　《極紫外與軟X射線多層膜偏振元件研究/同濟博士論叢》適合高等院校師生參考使用。

圖書目錄

總序

論叢前言

前言

第1章 緒論

1．1 概述

1．2 偏振光學元件的發展和研究現狀

1．3 極紫外和軟X射線波段偏振光學元件套用

1．4 課題研究背景和研究內容

第2章 極紫外與軟X射線多層膜偏振元件設計

2．1 概述

2．2 極紫外與軟X射線周期多層膜偏振元件設計

2．3 極紫外與軟X射線非周期多層膜偏振元件設計

2．3．1 寬頻及寬角多層膜偏振光學元件膜系初始結構推導

2．3．2 極紫外與軟X射線多層膜寬頻偏振元件設計

2．3．3 極紫外與軟X射線多層膜寬角偏振元件設計

2．3．4 極紫外與軟X射線非周期透射多層膜偏振元件設計

2．4 本章小結

第3章 極紫外與軟X射線多層膜偏振元件製備與檢測

3．1 概述

3．2 濺射原理及磁控濺射設備簡介

3．3X射線衍射儀（XRD）

3．4 合肥國家同步輻射實驗室（NSRL）反射率計

3．5 北京同步輻射裝置（BSRF）偏振測量裝置

3．6 德國柏林同步輻射實驗室（BESSY）偏振測量裝置

3．7 其他檢測方法

3．8 本章小結

第4章 極紫外與軟X射線多層膜偏振元件測試結果與分析

4．1 概述

4．2 XRD小角衍射測試

4．3 NSRL反射率測試結果

4．4 BSRF偏振測試結果

4．5 BESSY偏振測試結果

4．5．1 反射式周期多層膜偏振元件測試結果

4．5．2 透射式周期多層膜偏振元件測試結果

4．5．3 反射式Mo／Si非周期多層膜偏振元件測試結果

4．5．4 反射式Mo／Y非周期多層膜偏振元件測試結果

4．5．5 透射式Mo／Si非周期多層膜偏振元件測試結果與分析

4．6 本章小結

第5章 總結

5．1 主要研究成果

5．2 主要創新點

5．3 需要進一步解決的問題

參考文獻

後記