《同步輻射三維超微細加工技術(LIGA)基礎研究》是依託中國科學技術大學，由田揚超擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：同步輻射三維超微細加工技術(LIGA)基礎研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：田揚超
- 依託單位：中國科學技術大學
- 批准號：59305047
- 申請代碼：E0509
- 負責人職稱：研究員
- 研究期限：1994-01-01 至 1996-12-31
- 支持經費：8（萬元）
中文摘要
進行了X射線掩模、深度同步輻射光刻和微電鑄的基礎研究。建立了一套製作LIGA技術掩模的新方法，成功地製作了多 LIGA技術掩模和亞微米光刻掩模。建立了一套製作原膠的工藝，解決了光刻膠開裂，光刻膠和襯底粘結不牢等問題。建立了比較成熟的深度光刻工藝，研製出多種光刻膠圖形。建立了一套微電鑄體系，探索了微電鑄的條件，研製出了幾種金屬圖形，進行了高靈敏度X射線光刻膠的襯研究工作。研製出了α粒子偏碼成像波帶片、X射線斷透射光柵等實用的微光學元件。進行了加速度感測器、氣體流量計的初步研究。本項目已在國內外雜誌上發表論文七篇；有一篇論文在國際會議上作大會發言，一篇論文作分組報告，五篇論文在國內會議上報告。
