《合金薄膜外延生長動力學及新型結構形成機理的研究》是依託清華大學，由倪軍擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：合金薄膜外延生長動力學及新型結構形成機理的研究
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：倪軍
- 項目類別：面上項目
- 批准號：10674076
- 申請代碼：A2011
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2007-01-01 至 2009-12-31
- 支持經費：25（萬元）
項目摘要
外延生長技術被廣泛用來製備合金薄膜，由於合金薄膜具有通過原子種類和組分以及低維尺度剪裁結構的可能性，具有許多新結構和新性質，並可由此製備出具有優異性能的量子器件。在本項目中，我們將對合金薄膜外延生長的動力學進行研究，發展處理合金薄膜外延生長動力學的理論方法，揭示合金薄膜外延生長動力學的生長規律，計算生長動力學相圖。探討外延生長動力學各向異性對於結構生成的影響及可能產生的新的薄膜合金有序結構。探討外延生長過程中化學有序和表面偏析的動力學競爭產生新型的有序結構的機制。探討沉積率、溫度、襯底、應變、表面台階等生長條件對於合金薄膜體系外延生長動力學和有序結構的影響，揭示生長過程中控制非平衡生長的參數變化時，生長的結構由平衡結構向非平衡結構變化的規律。為發展新型低維結構提供新機制。
