可聚焦雙槍離子束

可聚焦雙槍離子束是一種用於電子與通信技術領域的分析儀器，於2015年10月13日啟用。

基本介紹

• 中文名：可聚焦雙槍離子束
• 產地：美國
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2015年10月13日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

1.E-beam電壓：20V-30KV2.E-beam解析度：[email protected]電壓：0.5KV-30KV4.I-Beam解析度：0.4nm@30kv。

主要功能

1.SEM Image Taking2.IC Cross Section Milling3.Failure/Structure Analysis。