反離子蝕刻機

反離子蝕刻機是一種用於材料科學領域的物理性能測試儀器，於2008年11月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：反離子蝕刻機
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2008年11月30日
• 所屬類別：物理性能測試儀器

技術指標

最永達料灶盼大悼拔市頌功率200W，堡凶堡能夠對達拒婚Si、PZT等常規材料進行刻蝕。

主要功能

套用於微電子材付挨驗閥料、凝格晚半導體材料。