反轉工藝(積體電路製造中的反轉工藝)

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反轉工藝是指利用特殊處理產生黑白極性反轉的乳膠板工藝。

基本介紹

  • 中文名:反轉工藝
  • 外文名:reverse process
反轉工藝典型例子如使乳膠板曝光區變成透明,而未曝光區變成不透明。工藝過程包括乳膠板經第一次曝光,顯影后呈現正性圖像(曝光區不透明,背景為透明),經漂白使之消失,然後再進行代表極性反轉的泛曝光、經二次顯影和定影工序把第一次曝光時未曝光區域中鹵化銀還原成黑銀,全部過程稱之為反轉工藝。

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