《原子力顯微鏡形貌測量的濕度影響及其機理研究》是依託北京化工大學，由魏徵擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：原子力顯微鏡形貌測量的濕度影響及其機理研究
- 依託單位：北京化工大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：魏徵
- 負責人職稱：副教授
- 批准號：11572031
- 申請代碼：A0805
- 研究期限：2016-01-01 至 2019-12-31
- 支持經費：52（萬元）
項目摘要
原子力顯微鏡測量樣品表面形貌時，樣品因素或者非樣品因素引起的針尖與樣品間相互作用力變化，使得形貌測量結果產生偏差，從而引起圖像失真或贗像。一個典型的非樣品因素就是大氣環境下，濕度在探針與樣品間誘導形成的微納米液橋產生的毛細力。基於此，本項目將通過實驗研究大氣濕度對原子力顯微鏡測量形貌的影響，並通過理論分析與數值計算研究其影響機理。由於原子力顯微鏡輕敲模式下探針與樣品接觸時間較短，項目組首先建立一種實驗方法以得到探針高頻振動下的力曲線；在獲取液橋毛細力和斷裂能後，將液橋引入探針、微懸臂樑和樣品系統，建立輕敲模式下的振動理論模型，分析液橋對整個系統的振幅與相位的影響，從而定量分析形貌測量誤差的形成機理。最後，項目將進一步製備具有不同拓撲結構的樣品表面，來驗證在不同的濕度環境下形貌的變化。
