基本介紹
- 中文名:半球諧振子
- 外文名:Hemispherical Shell Resonator
半球諧振子(Hemispherical Shell Resonator,簡稱HSR)是半球諧振陀螺的核心部件,半球諧振子的性能決定了陀螺性能。半球諧振子是敏感HRG 輸入角速率的元件,是HRG 的主體部分,其形狀為半球形...
本項目系統分析微半球諧振陀螺儀的工作原理,建立微半球諧振子數學模型,通過Ansys等仿真軟體,對能量損耗機理進行分析,最佳化整體結構。並根據現有MEMS加工工藝設計一套加工工藝流程,加工過程中對工藝參數進行最佳化並改進結構參數,保證加工過程中微半球諧振子球度及光滑度。同時,根據微半球諧振陀螺儀工作機理仿真設計相應處理...
《慢衰減抗振動MEMS半環諧振陀螺及其製造方法研究》是依託浙江大學,由謝金擔任項目負責人的面上項目。項目摘要 現有MEMS半球諧振陀螺的零偏置穩定性因殼體衰減時間短而受到限制。針對這一問題,本項目改進三維殼諧振子結構,提出一種基於金剛石MEMS的半環諧振陀螺設計,並對其慢衰減抗振動特性和微製造方法進行研究。陀螺...
半球諧振陀螺儀 半球諧振陀螺儀是2005年全國科學技術名詞審定委員會公布的航天科學技術名詞,出自《航天科學技術名詞》第一版。出處 《航天科學技術名詞》第一版 公布時間 2005年,經全國科學技術名詞審定委員會審定發布。
本項目成功地完成了矽基中心軸對稱3D諧振子結構設計及其製備工藝流誠,突破了高品質因數多晶矽諧振器結構設計、高對稱性多晶矽半球諧振器3D加工工藝、曲面立體電極自對準成型等關鍵技術, 研製了矽基微半球和矽基高對稱蜘蛛網式嵌套環式諧振陀螺等二種陀螺樣件, 完成了協定規定的全部研究內容,考核指標也全部達到協定要求。
3.2 半球諧振陀螺儀設計 第四章 諧振陀螺諧振子超精密製造 4.1 諧振陀螺諧振子精密磨削 4.2 諧振陀螺諧振子拋光 4.3 諧振子表面損傷測量 4.4 諧振子化學處理 4.5 諧振子低損耗鍍膜 第五章 諧振陀螺儀諧振子調平 5.1 調平基本原理 5.2 化學腐蝕調平 5.3 離子束刻蝕調平 5.4 其它調平方法 第六章 諧振...
2.5 固體波動陀螺諧振子的性能指標 2.5.1 頻率特性 2.5.2 品質因數 2.5.3 質量不平衡 2.6 半球諧振子調平 第3章 固體波動陀螺敏感部件的裝配與真空處理 3.1 固體波動陀螺中間隙一致性的保證 3.2 固體波動陀螺部件連線 3.3 敏感部件的真空處理 第4章 固體波動陀螺電子線路 4.1 固體波動陀螺...
下篇為陀螺中物理過程的數學建模,研究了原子函式和R函式在固體波動陀螺的諧振子的動力學問題、進動係數的求解方法、陀螺誤差及其參數辨識問題、半球諧振子穩態和非穩態熱力過程的數學模型、熱力時間常數的計算,熱漂移速率的確定、求解熱轉移邊界等問題中的套用,最後利用R函式和原子函式獲得了模擬式和數字式低頻平峰濾波器...