半導體陶瓷濕敏元件_中文百科全書

半導體陶瓷濕敏元件是由半導體陶瓷製成的對濕度敏感的元件。金屬氧化物半導體陶瓷結構不甚緻密，各晶粒之間有一定的空隙，呈多孔毛細管狀，水分子可通過陶瓷材料的細孔，在各晶粒的表面和晶粒界面處吸附。在整個相對濕度範圍內，電子導電和質子導電都同時存在，即是一種混合型導電模式，且當相對濕度低於某一數值時，電子導電占主要地位。當相對濕度高於該數值時，質子導電占主要地位。典型的有亞鉻酸鎂-氧化鈦陶瓷濕度感測器、氧化鎳陶瓷濕度感測器、氧化鈦-五氧化二釩陶瓷濕度感測器。