半導體納米器件組裝與性能測試系統

半導體納米器件組裝與性能測試系統是一種用於化學、材料科學、冶金工程技術、物理學領域的工藝試驗儀器，於2011年8月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：半導體納米器件組裝與性能測試系統
• 產地：中國
• 學科領域：化學、材料科學、冶金工程技術、物理學
• 啟用日期：2011年8月31日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 電加工工藝實驗設備

技術指標

濺射薄膜，包括氧化鋅、PZT、ITO等。

主要功能

用於納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的製備。