半導體氣敏感測器

半導體氣敏感測器是利用待測氣體與半導體(主要是金屬氧化物)表面接觸時，產生的電導率等物性變化來檢測氣體。按照半導體與氣體相互作用時產生的變化只限於半導體表面或深入到半導體內部，可分為表面控制型和體控制型。第一類，半導體表面吸附的氣體與半導體間發生電子授受，結果使半導體的電導率等物性發生變化，但內部化學組成不變； 第二類，半導體與氣體的反應，使半導體內部組成(晶格缺陷濃度)發生變化，而使電導率改變。

按照半導體變化的物理特性，又可分電阻型和非電阻型兩類。電阻型半導體氣敏元件是利用敏感材料接觸氣體時，其阻值變化來檢測氣體的成分或濃度；非電阻型半導體氣敏元件是利用其他參數，如二極體伏安特性和場效應電晶體的閾值電壓變化來檢測被測氣體。表 5-1 為半導體氣敏元件的分類，SnO2(氧化錫)是套用最多的一種氣敏元件。