中文名稱區域沾污英文名稱contamination area定 義在半導體矽片上，非有意地附加到矽片表面上的物質。其線度遠大於局部光散射體。套用學科材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科）
