動態相移干涉儀

動態相移干涉儀是一種用於信息科學與系統科學、物理學、航空、航天科學技術領域的計量儀器，於2008年05月16日啟用。

基本介紹

• 中文名：動態相移干涉儀
• 產地：美國
• 學科領域：信息科學與系統科學、物理學、航空、航天科學技術
• 啟用日期：2008年05月16日
• 所屬類別：計量儀器 > 光學計量儀器

技術指標

平面口徑100mm，精度0.1波長。

主要功能

測量光學表面面形。