《功能薄膜及其沉積製備技術》是2013年冶金工業出版社出版的圖書。
基本介紹
- ISBN：9787502460266
- 頁數：516
- 定價：99.00元
- 出版社：冶金工業出版社
- 出版時間：2013-1
內容介紹,讀者對象,
內容介紹
《功能薄膜及其沉積製備技術》結合功能薄膜的特點和工程套用與發展實際，概要地講述了薄膜的含義、特徵和分類及功能薄膜設計的原則；重點講述了氣相沉積、三束材料表面改性、複合處理等先進功能薄膜沉積製備方法、原理、工藝特點及適用的領域；在裝飾與機械功能薄膜中，講述了主要膜系、膜系的設計原則，並分別列舉了裝飾與機械功能膜的典型套用及發展趨勢；在物理和特殊功能薄膜中，講述了微電子、電磁、光學、光電子、集成光學等功能薄膜以及幾種特殊的功能薄膜的特點及其典型的套用；最後扼要地介紹了微細加工技術、微機電系統加工的特點、典型器件與系統的新套用等內容。全書內容系統，深入淺出地介紹了一些新構思、新材料、新器件所實現的工程套用。
讀者對象
《功能薄膜及其沉積製備技術》可供從事材料表面技術與工程、薄膜材料工藝與套用研究、設計、製造、管理的科技人員參考，也可供高等院校材料專業和相近專業師生使用。
