力敏感測器是支撐工業過程自動化的四大感測器之一。力敏元件是指力敏感測器中能感受(或回響)力的元件。力括重力、拉力、壓力、力矩、壓 強等物理量。
中文名稱 | 力敏元件 |
英文名稱 | force sensing element |
定 義 | 其特徵參數隨所受外力或應力變化而明顯改變的敏感元件。 |
套用學科 | 機械工程(一級學科),儀器儀表元件(二級學科),儀器儀表機械元件-敏感元件(三級學科) |
力敏元件及感測器廣泛用於各工業生產部門和科學實驗研究中。力敏元件及感測器品種規格繁多,可以按不同的方法進行分類,傳統的、測量力的方法是利用彈性元件的形變和位移來表示的,其特點是成本低、不需要電源,但體積大、笨重、輸出為非電量。後來發現了應變計,特別是隨著微電子的技術發展,利用半導體材料的壓阻效應和彈性與積體電路工藝,研製出了半導體力和壓力感測器,使這類感測器有了長足的進步。普遍套用的力敏感測器有電阻式、壓電式、電容式、變磁阻式、光纖式等。近幾年又發展了聲表面波壓力感測器、磁致伸縮型壓力感測器、電位式壓力感測器等電氣感測器。