分子層外延

分子層外延屬於科學專有名詞。

中文名稱	分子層外延
英文名稱	molecular layer epitaxy，MLE
定　　義	將含有化合物半導體組元的氣體分子，單獨交替地引入到生長室，在準分子雷射或紫外光同步輻照下，加速襯底表面被吸附分子的化學分解與表面遷移，促進薄膜晶體生長的技術。
套用學科	材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）

分子層外延