共面線毫米波參數測量系統

共面線毫米波參數測量系統是一種用於工程與技術科學基礎學科、電子與通信技術領域的電子測量儀器，於2013年6月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：共面線毫米波參數測量系統
• 產地：美國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科、電子與通信技術
• 啟用日期：2013年6月1日
• 所屬類別：電子測量儀器 > 射頻和微波測試儀器 > 射頻和微波測量系統

技術指標

自動探針台部分 X-Y方向 行程203mm x 203mm 移動準確度 ≤ 2.5μm Z 方向 行程 5mm 移動準確度 ≤ 2μm。

主要功能

實現對共面波導等片上電路和器件的毫米波參數進行精密測量和計量，主要功能包括 1. X-Y-Z三維自動定位，定位精度達到微米量級； 2. 電路圖形的自動識別； 3. 對毫米波探針的自動校準； 4. 對被測對象散射參數的自動測量。