六氟乙醯丙酮鈀(II)

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基本信息

中文名稱: 六氟乙醯丙酮鈀(II)
英文名稱: Palladium(II)hexafluoro-2,4-pentanedionate
英文別名: Palladium(II) hexafluoroacetylacetonate
CAS號: 64916-48-9
分子式: C10H8F18O4Pd
線性分子式: Pd(C5HF6O2)2
分子量: 520.52
MDL號: MFCD00015709
Beilstein號:
EC號: 265-271-1

性狀描述

黃色粉末

用途說明

MOCVD前驅體化合物;均相催化劑; 用於氧化還原金屬置換反應,以最佳化銅的化學氣相沉積合金化工藝;用於同時進行銅的蝕刻和鈀的沉積,從而套用於超大規模集成設備

危險說明

危險代碼:Xi
危險等級:36/37/38
安全等級:26-36

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