六氟乙醯丙酮鈀(II)

基本信息

中文名稱： 六氟乙醯丙酮鈀(II)

英文名稱： Palladium(II)hexafluoro-2,4-pentanedionate

英文別名： Palladium(II) hexafluoroacetylacetonate

CAS號： 64916-48-9

分子式： C10H8F18O4Pd

線性分子式： Pd(C5HF6O2)2

分子量： 520.52

MDL號： MFCD00015709

Beilstein號：

EC號： 265-271-1

性狀描述

黃色粉末

用途說明

MOCVD前驅體化合物；均相催化劑; 用於氧化還原金屬置換反應，以最佳化銅的化學氣相沉積合金化工藝；用於同時進行銅的蝕刻和鈀的沉積，從而套用於超大規模集成設備

危險說明

危險代碼:Xi

危險等級:36/37/38

安全等級:26-36