全自動磁控濺射台

全自動磁控濺射台是一種用於物理學、藥學、食品科學技術、環境科學技術及資源科學技術領域的分析儀器，於2012年10月25日啟用。

基本介紹

• 中文名：全自動磁控濺射台
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、藥學、食品科學技術、環境科學技術及資源科學技術
• 啟用日期：2012年10月25日
• 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器

技術指標

不鏽鋼，鋁質腔體 260或500 l/s的渦輪分子泵，串接機械泵或乾泵 13.56MHz，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源 晶振夾具具有的1 ?的厚度解析度 帶觀察視窗的腔門易於上下載片 基於LabView軟體的PC計算機控制。

主要功能

薄膜樣品製備。