內部水汽含量分析系統

內部水汽含量分析系統是一種用於產品套用相關工程與技術領域的分析儀器，於2001年10月18日啟用。

基本介紹

• 中文名：內部水汽含量分析系統
• 產地：美國
• 學科領域：產品套用相關工程與技術
• 啟用日期：2001年10月18日
• 所屬類別：分析儀器 > 質譜儀器

技術指標

最小的譜範圍應在1～100原子質量單位（AMUs）。水汽檢測靈敏度100ppm，其它氣體檢測靈敏度10ppm。設備檢測體積最小為0.01立方厘米。

主要功能

檢測電子元器件的內部氣體成份。