光源極化是指在光刻工藝中,通過調整偏振光在照明光源中所占的比例和方向增強成像對比度的方法。
基本介紹
- 中文名:光源極化
- 外文名:Illumination Polarization
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光源極化是指在光刻工藝中,通過調整偏振光在照明光源中所占的比例和方向增強成像對比度的方法。
光源極化是指在光刻工藝中,通過調整偏振光在照明光源中所占的比例和方向增強成像對比度的方法。在光刻工藝中,當掩模上的特徵尺寸遠大於光源波長時,光源的極化特徵並不是一個需要考慮的因素。但是在40nm技術節點以下,掩模版上的關...
光的極化 在電動力學中,極化(或偏振)是波(如光和其他電磁輻射)的一個重要特性。與縱波如常見的聲波不同,電磁波是三維的橫波,正是由於其矢量特性,從而產生出極化這一現象。基礎 類似於彈簧振子的振動現象(普通的光源都是非...
建立中國的紫外真空紫外及軟X射線光譜輻射基準,同時開展傳遞標準光源、標準探測器、光譜儀標定及相應波段光學元件(光柵、波帶片、反射鏡等)特性測試研究;必須精確計算輻射譜光子的通量,因此要精確地標定儲存電子束的能量,共振退極化方法...
高偏振:上海光源中在電子軌道平面上放出的同步光是完全線極化的, 而離開電子軌道平面方向發射的同步光則是橢圓極化的,因而是研究具有旋光性的生物分子、藥物分子和表現為雙色性的磁性材料的有力工具;準相干:上海光源從插入件引出的...
《GaN基LED材料中極化場調控的研究》是依託廈門大學,由朱麗虹擔任項目負責人的青年科學基金項目。項目摘要 GaN基白光LED和傳統的照明燈具相比,具有能耗低,壽命長等突出優點。被視為節能,環保的綠色照明光源。潛在著巨大的社會和經濟效益...
本項目將研究諧振腔內Laguerre-Gaussian光高階模式的共振輸出,利用腔增強自發參量下轉換方法產生攜帶極化的軌道角動量糾纏態。在此基礎上,通過線性光學手段,我們將嘗試製備窄帶極化-軌道角動量超糾纏光源,研究光源的退相干機制,以及其量子...
研究了SF效應對倍頻過程的影響;3.研究了寬頻微結構波導倍頻的特點,分析了倍頻轉換效率的影響因素;4.將鉺鐿共摻光纖雷射系統對PPLN晶體進行倍頻,研究了系統溫度及波長調諧特性;5. 將全正色散鎖模光纖光源結合與周期極化磷酸氧鈦鉀微...
《太赫茲頻域下極化聲子研究和非線性光學材料探索》是依託中國科學院理化技術研究所,由林哲帥擔任項目負責人的面上項目。項目摘要 太赫茲頻段是電磁波譜中極具科學價值但尚待完全開發的電磁輻射區域。太赫茲波的廣泛套用是與太赫茲光源的發展...
大連相干光源是由國家自然科學基金委資助的國家重大科研儀器設備研製項目,由中國科學院大連化學物理研究所和中國科學院上海高等研究院相關團隊合作完成。發展歷史 2017年,項目初步建成出光,2018年7月通過驗收,是我國第一台自由電子雷射用戶...
當光線並不是照射至預定目標時,便會浪費能量,如某些固定的光源向天空照射而不是向地面照射。而當製造的光線比需要的多時,亦會浪費能量。部分國家在簽訂京都議定書後開始研究減少使用能量的方法,而個人、組織及各國政府部們有時亦會...
前者安裝在光源與樣品之間,後者安裝在接物鏡與接目鏡之間或接目鏡之上。在生物樣品中,肌肉纖維、骨骼和牙齒等具有各向異性,澱粉粒、染色體和紡錘體等具有雙折射性,因此被用於組織細胞的化學研究。光源最好用單波長光線。由於生物樣品比...
光源 它的功能是提供單色性好、功率大並且最好能多波長工作的入射光。目前拉曼光譜實驗的光源己全部用雷射器代替歷史上使用的汞燈。對常規的拉曼光譜實驗,常見的氣體雷射器基本上可以滿足實驗的需要。在某些拉曼光譜實驗中要求入射光的強度...
通常,光源發出的光波,其光波矢量的振動在垂直於光的傳播方向上作無規則取向,但統計平均來說,在空間所有可能的方向上,光波矢量的分布可看作是機會均等的,它們的總和與光的傳播方向是對稱的,即光矢量具有軸對稱性、均勻分布、各...
正交偏振光譜影像(Orthogonal polarization spectral imaging)為用於顯像如指甲甲床或嘴唇中小血管的影像技術。其光源利用波長550奈米的線形偏振光,該波段為血紅蛋白的等消光點,藉此顯像流經該血管的紅血球。儀器會紀錄反光與入射光正交(及...
有些可見光用於主動遙測,由於它需要很大的能量光源和附加光,致使很難從接收的信號中析取反射。激光源是克服這些問題最顯著的有效方法,普通的白光被稱為“不相干”光,那就是,它的能量是全方向的散布和有很寬的頻率帶。而且,它析...
受激布里淵散射SBS 產生原理:SBS是光纖中泵浦光與聲子間相互作用的結果,在使用窄譜線寬度光源的強度調製系統中,一旦信號光功率超過受激布里淵散射SBS 的門限時(SBS的門限較低,對於1550nm 的雷射器,一般為7~8dBm ),將有很強...
系外行星偵測法是偵測太陽系外的行星的一種方法。任何行星相對於其母恆星都是極其微弱的光源。要在母恆星耀眼的光輝內同時檢測出這種微弱的光源,都有其內在的困難。因為這種緣故,只有很少的太陽系外行星被直接觀測到。取而代之的,...
輔助電極的成分有時會劇烈地改變光源中的蒸發條件。如圖5.4是用不同輔助電極作出的錫青銅試樣中鋅的工作曲線,Ⅰ-用銅作輔助電極;Ⅱ-上下電極均為試樣;Ⅲ-用石墨作輔助電極;Ⅳ-用鋁作輔助電極。由圖5.4可以看出用不同的輔助電極...
二次諧波顯微成像裝置由四個部分組成:第一部分是光源,通常需要提供功率適中的激發光,既可以保證產生較強的二次諧波信號,也可以避免樣品受損。在二次諧波顯微技術中光源通常採用可在整個紅外區內可調諧的摻鈦藍寶石飛秒雷射器。第二...
在白熾燈被世界各國禁止使用的情況下,無極燈成為目前高效節能光源的最佳選擇,已經成為運作能源管理契約EMC模式的理想產品。無極燈主要技術特點:l 無電極超長壽命,質保十年,長年使用免維護 l 高功率因數>0.99,高效節能 l 極好的顯色...