光學平板

光學平板指的是光學平板的兩面都被精密拋光，它通常作為分光鏡或視窗等透過型元件，或被用作全反射鏡或光學測量中的基準平面現象。

一般分為三種材料類型的光學平板：BK7,SFS 和準分子雷射用 SFS。其中大部分產品有各種指標的組合：形狀（圓形或方形），面精度（λ，λ/4，λ/10，λ/20），多種厚度和平行度。

BK7基板常用於可見光和近紅外區。從紫外到近紅外，SFS的溫度穩定性，耐熱性都很好。準分子雷射用SFS，用於高功率的準分子雷射 KrF（248nm）時，具有低螢光特性。

去除拋光面的次表面缺陷（微小裂紋），對於改善膜的質量，提高耐高功率雷射的穩定性很重要。儘可能地控制磨料，溫度和研磨過程，減少次表面缺陷。