光外差非接觸測量磁碟平面度的研究

《光外差非接觸測量磁碟平面度的研究》是一篇論文，李達成教授指導，學位授予單位是清華大學。

副題名

外文題名

論文作者

趙洋著

導師

李達成教授指導

學科專業

光學儀器

學位級別

d 1991n

學位授予單位

清華大學

學位授予時間

1991

關鍵字

磁碟平面度 相位整數檢測 干涉儀

館藏號

TQ587

唯一標識符

108.ndlc.2.1100009031010001/T3F24.012002650701

館藏目錄

2000\TQ587\2