基本介紹
- 中文名：光刻膠輸送系統
- 外文名：Photoresist conveying system
圖1是光刻膠輸送系統示意圖。N2保持膠瓶內有一定的壓力。膠從膠瓶中先流到一個緩衝容器中，經過過濾器，由膠泵抽到噴嘴噴出。噴膠的容量由膠泵設定。除此之外，系統還要保證不間斷供膠、不產生氣泡、易於清洗與易於更換配件等。實際系統的設計比較複雜，還包括一系列的電磁閥（selenoid valve）、壓力控制管線等。。
圖1 光刻膠輸送系統示意圖
光刻膠輸送系統
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