儀器可檢測下限

儀器可檢測下限 可給出信噪比至少為3dF3的儀器回響的物質最低濃度。半導體工業的發展對高純氣體,電子恃種氣體的純度要求愈來愈高,對氣體中的雜質檢測限要求達到1D-`;一1D-'}數量級。目前供此日的用的最好儀器是大氣壓離子質譜。Hp-2P報瞥儀對乙硼烷、砷烷、磷烷和二氯二氫矽的可檢測下限分別為}x 1D-y,2x 1D一9,3x 10一9和g >: LD一9

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