低溫磷化銦緩衝層

低溫磷化銦緩衝層,磷化銦/砷化鎵異質外延的方案之一。採用低溫磷化銦作連線磷化銦和砷化鎵失配晶格的緩衝層,不僅能有效釋放砷化鎵襯底與磷化銦外延層間的失配應力,避免選用第13-第15族三元系或四元系材料充當緩衝層而必須的組分精確控制,方案簡單,而且緩衝層可以長得很薄。是磷化銦/砷化鎵異質外延解決“異系異質兼容”矛盾、實現單片光電子集成的最有效途徑之一。

基本介紹

  • 中文名:低溫磷化銦緩衝層
  • 定義:磷化銦/砷化鎵異質外延的方案

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