亞微米紫外曝光機是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的工藝試驗儀器，於2014年12月12日啟用。
基本介紹
- 中文名：亞微米紫外曝光機
- 產地：德國
- 學科領域：工程與技術科學基礎學科
- 啟用日期：2014年12月12日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 機加工工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
可加工6英寸及以下尺寸樣品；有真空、硬接觸、軟接觸、近鄰等曝光模式；可加工最小線寬為0.8um（真空模式）；對準精度TSA為0.5um，BSA為1.0um；光強均勻性在6寸片範圍內小於2%。
主要功能
可加工6英寸及以下尺寸樣品；可加工6英寸及以下尺寸樣品；有真空、硬接觸\軟接觸、近鄰等曝光模式；可加工最小線寬為0.8um（真空模式）；對準精度TSA為0.5um，BSA為1.0um；光強均勻性在6寸片範圍內小於2%。 以汞燈為紫外光源，配合複雜的光路系統，實現均勻、高能量和較為準直的單色光束，可以對光刻膠進行曝光。同時系統配有對準顯微裝置（單面和雙面）.主要用於大面積快速紫外曝光的常見微納加工工藝。主要用於大面積快速紫外曝光的常見微納加工工藝。
