五甲氧基鉭

五甲氧基鉭Ta ( UCH3 75tantalum pentamethoxide熔點a。佛點13 ( 2G ).7Pa )。純度妻99 . 99 96是白色可燃固體。

製備方法有:(1)五氯化鈕與無水甲醇及高純氨反.立;(2)電化學法。提純採用減壓精餾法J主要用於CVD法和dot-Gel法製備高純TazOs或含Taz05組分的多組分氧化物薄膜及粉體的功能材料7前體源。