乙氧基三氯矽烷是一種有刺激性的無色液體,沸點1U2 ~- 1U3}。極易水解,放出氯化氫和乙醇,生成相應的縮合物。 特性蒸氣和液體能造成皮膚燒傷,吸人有毒自能與含活潑氫的有機化合物進行反應)與有機鹵化鎂反應,Si-CI鍵中的氯原子首先被相應的有機基取代。叮由四氯化矽與不足量的無水乙醇反應來製取。用來合成有機矽中間體。