中試真空鍍膜及電源系統

中試真空鍍膜及電源系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2014年12月17日啟用。

基本介紹

• 中文名：中試真空鍍膜及電源系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2014年12月17日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

極限真空10-5MPa。

主要功能

用於單層濺射，能生長金屬、合金和介質膜。