至純科技（603690.SH）是國內半導體清洗設備與高純工藝系統龍頭，同時衍生了電子材料、部件清洗及晶圓再生等服務業務。
至純科技2000年成立，從高純工藝系統起步，逐步拓展了BU1-5五個事業部，分別開展濕法設備/晶圓再生、高純工藝系統、先進工藝材料、生物製藥工藝、光感測及光器件業務。至純科技是中國半導體濕法清洗設備領軍企業之一。
2017年1月13日，至純科技登入上海證券交易所，在A股上市。
企業文化：至純、至真、至簡、至善。
基本介紹
- 公司名稱：上海至純潔淨系統科技股份有限公司
- 成立時間：2000年11月13日
- 總部地點：上海市閔行區
- 員工數：2000 人
發展歷程,經營範圍,企業榮譽,
上海至純潔淨系統科技股份有限公司於2000年11月13日在上海市工商局登記成立。法定代表人蔣淵。
2017年，公司布局濕法設備事業部。濕法設備2018年訂單達1億，2019年接近2億，2020年達5.3億。至純科技提供的濕法設備包含濕法槽式清洗設備及濕法單片式清洗設備，主要套用於積體電路、微機電系統、平板顯示等領域。
2018年至純科技收購波匯科技100%股權進入光感測領域。
2020年，至純科技單片濕法設備和槽式濕法設備全年出機超過了30台，較2019年增長50%。同時單片式濕法設備新增訂單金額超過3.6億元，同比增長112%。產品覆蓋28nm以上全部製程節點。
2021年，至純科技單片濕法設備和槽式濕法設備出機超97台；12英寸濕法設備新增訂單金額超過6億元，其中單片式濕法設備新增訂單金額超過3.8億元。
2022年，至純科技在合肥布局的晶圓再生及部件清洗項目已通線試產，是國內首條投產的12寸晶圓再生產線，部件清洗項目為國內首條設立完整的陽極產線。
公司經營範圍包括從事電子、光纖、生物工程及環保科技專業領域內的技術開發等。
2010年，至純科技被認定為高新技術企業；2010年，至純科技被評選為“上海市科技小巨人培育企業”；2012年，至純被評選為“創新型企業”；2012年，公司被評選為“2011年上海市民營科技綜合百強企業”；2012年，企業通過了ISO9000、ISO14001:2004及OHSAS18001認證； 2014年，公司被上海市促進中小企業發展協調辦公室評選為“上海市專精特新中小企業” ；2015年，公司被上海市契約信用促進會評選為“2013-2014年度上海市守契約重信用企業”。
2023年，至純科技董事長蔣淵獲得第六屆“上海市優秀中國特色社會主義事業建設者”稱號和2022年度“閔行區優秀企業家”稱號。
