《一種OLED彩色濾波器超分辨納米孔陣列光刻技術》是依託四川大學，由李淑紅擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：一種OLED彩色濾波器超分辨納米孔陣列光刻技術
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：李淑紅
- 依託單位：四川大學
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
基於納米孔陣列波長選擇透射特性的彩色濾波器具有光能傳輸效率高和色彩顯示質量好的優點，是彩色OLED的首選器件，而快速製備大面積納米孔陣列是該濾波器實用化必需解決的關鍵問題。本項目提出了基於自組裝微球陣列的大面積快速超分辨光刻技術，利用微球和平板接觸的特殊物理結構作為納米結構掩模，結合銀膜對倏逝波的放大特性，實現超分辨光刻。採用數值模擬和頻譜分析法，研究電磁波的傳輸和轉化過程，建立基於微球陣列的超分辨光刻物理模型。發展多樣化光刻掩模製備技術，提出利用疏水材料對自組裝樣片進行表面疏水處理的方法，實現對樣片上任意形狀和大小的區域選擇性疏水處理，解決區域選擇性自組裝的關鍵問題，研製出各種圖形化區域分布的微球陣列掩模。搭建實驗系統，開展相應的光刻實驗，獲得可用於濾波器的特徵尺寸在200nm～50nm的大面積納米孔陣列。本項目的研究將大力推動該濾波器在OLED中的實用化進程。
結題摘要
納米孔陣列彩色濾波器具有光能傳輸效率高，色彩顯示質量好的優點，是彩色OLED的首選器件，而快速/低成本製備大面積納米孔陣列是該濾波器實用化要解決的關鍵問題之一。本項目提出一種基於微球陣列的大面積快速超分辨光刻技術，利用微球和銀板接觸的特殊物理結構作為納米結構“掩模”，結合銀膜對倏逝波的放大特性，實現超分辨光刻。這種方法集中了傳統光刻和表面電漿光刻的優點，克服了傳統光刻中衍射極限的限制和表面電漿光刻中掩模成本高、光刻面積小的缺點。微球和銀層的接觸點可以方便快捷形成大面積均勻一致的納米物，成本低。而且，微球陣列聚焦為光刻提供了高質量的大面積陣列光源。本課題基於數值模擬和頻譜分析，建立了微球超分辨光刻理論及其曝光模型，給出了相關參數與光刻解析度的關係。提出並發展了圖形區域化微球自組裝技術，為任意分布的納米孔製備提供了多樣化的微球陣列模版。實驗上，獲得了特徵尺寸在75nm-200nm的各種金屬納米孔陣列，而且實現了不同周期和尺寸的納米孔在同一樣品上的區域化分布製備。所取得的成果不但推動了OLED彩色濾波器的研究，而且對豐富納米加工技術和促進表面電漿光學的發展都具有重要意義。
