《一種非製冷紅外探測器及其製備方法》是煙臺睿創微納技術有限公司於2013年12月31日申請的發明專利，該專利申請號為2013107525222，公布號為CN103715307A，公布日為2014年4月9日，發明人是楊水長、甘先鋒、孫瑞山、王宏臣、陳文禮、王鵬。
該發明提供了一種非製冷紅外探測器製備方法，包括：提供一包含讀出電路的半導體襯底，在半導體襯底上依次沉積金屬反射層、絕緣介質層、犧牲層、支撐層、金屬電極層、氮化矽介質層；刻蝕掉金屬電極層上方的部分氮化矽保護層,露出金屬電極，形成接觸孔；在形成接觸孔的半導體襯底上沉積熱敏薄膜，對熱敏薄膜進行圖形化處理，然後沉積氮化矽鈍化層，進行鈍化層圖形化和結構釋放。該發明還提出了一種非製冷紅外探測器結構，即在金屬電極之上覆蓋熱敏薄膜，使非製冷紅外探測器對紅外的反射率大大降低，提高了探測器的紅外吸收效率。
2021年6月24日，《一種非製冷紅外探測器及其製備方法》獲得第二十二屆中國專利優秀獎。
基本介紹
- 中文名：一種非製冷紅外探測器及其製備方法
- 申請人：煙臺睿創微納技術有限公司
- 發明人：楊水長、甘先鋒、孫瑞山、王宏臣、陳文禮、王鵬
- 申請號：2013107525222
- 申請日：2013年12月31日
- 公布號：CN103715307A
- 公布日：2014年4月9日
- 地址：山東省煙臺市經濟技術開發區貴陽大街11號
- 代理機構：北京輕創智慧財產權代理有限公司
- 代理人：楊立
- Int. Cl.：H01L31/18、H01L31/08、G01J5/20
- 類別：發明專利
專利榮譽
2021年6月24日，《一種非製冷紅外探測器及其製備方法》獲得第二十二屆中國專利優秀獎。
