副題名
外文題名
論文作者
李宏力著
導師
孫以材指導
學科專業
學位級別
博士
學位授予單位
河北工業大學
學位授予時間
2012
關鍵字
加速度感測器 氧化鋅 薄膜技術 磁控濺射法 壓電效應
館藏號
唯一標識符
108.ndlc.2.1100009031010001/T3F24.006507103
館藏目錄
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根據項目主要研究內容，本項目完成情況概述如下：(1) 設計並製備了底柵底接觸型有機薄膜場效應管（OTFT）氣體感測器，絕緣層厚度為195nm、器件溝道寬長比為160。在此基礎上，初步設計並構建了OTFT氣體感測器陣列。(2) 採用氣噴工藝在OTFT器件上製備了聚（三-己基噻吩）（P3HT）—氧化鋅（ZnO）納米顆粒複合薄膜，...
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