X射線超精密納米結構檢測儀是一種用於物理學、機械工程領域的電子測量儀器，於2019年12月4日啟用。
基本介紹
- 中文名：X射線超精密納米結構檢測儀
- 產地：中國
- 學科領域：物理學、機械工程
- 啟用日期：2019年12月4日
- 所屬類別：電子測量儀器 > 射頻和微波測試儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
空間解析度≤0.5μm；可掃描樣品的最大直徑≥300mm；支持多種掃描成像模式：DR，圓軌跡錐束CT，超視野錐束CT，偏置錐束CT。X射線源開放式透射靶微焦點X射線源；2 管電壓：20kV～160kV；管電流：0.05mA～1mA；最大靶功率：≥25W；提供2年使用的燈絲耗材。 數字平板探測器，高分辨顯微光耦探測器系統。.機械系統：樣品台，台體材料航空鋁合金，轉角精度±3.0 補償後，徑向運動精度100nm；軸向運動精度 100nm；額定轉速 45RPM；轉角解析度 0.2 。4.3 射線源、探測器：射線源運動行程：150mm；探測器X軸電機驅動運動行程：150mm；最大SDD≥800mm。圖像採集軟體。控制及圖像數據處理功能， 多種掃描模式和擴展數據採集功能，校正功能；3D圖像重構軟體。具有解析法和自適應疊代法兩種重建算法，圖像矩陣1024×1024×768，解析算法重構時間1分鐘內，自適應疊代重構時間3分鐘內。3D圖像瀏覽和分析軟體；影像資料庫管理軟體；加拿大ORS原裝分析可視化軟體一套；支持球棒模型的建立，該技術是通過掃描及三維重構。 防護箱體。
主要功能
X射線超精密微納米結構檢測儀突破了傳統無損成像技術因解析度不夠和微小結構難以觀測而產生的局限性，具有高分辨、無損、透視、三維成像的功能，不會像傳統實驗引入人為缺陷，能夠對形成的三維立體圖像任意旋轉觀察，並可以做任意位置和方向的虛擬斷層切片展示，並進行相應統計分析。系統測試效率高有強大的拓展性和準動態觀察功能。利用該技術進行機械器件的定量觀察與描述，研究並建立器件損傷的本構關係，能夠定量研究各類器件原位載荷下的變形、損傷等細觀機制。
