《X射線光學在固體領域中的套用》是1985年科學出版社出版的圖書，作者是奎瑟。
基本介紹
- 中文名：X射線光學在固體領域中的套用
- 作者：奎瑟
- 出版時間：1985年1月
- 出版社：科學出版社
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
該書重點介紹與固體材料微觀結構研究及固體器件製作密切相關的幾種新型X射線光學技術，詳細闡述對半導體器件和其他高集成度固體器件進一步微型化具有十分重要意義的X射線光刻技術的科學原理、工藝過程及實際套用，還討論了X射線干涉量度術、中子干涉量度術、X射線形貌術、中子形貌術的理論基礎——衍射動力學理論，介紹了它們的試驗方法和在晶體缺陷研究及其他自然界基本特性研究方面的套用．強X射線源是所有這些技術得以實現的基本保證，書中對目前套用的最強常規源——旋轉陽極X射線發生器也作了專門論述．
該書可供從事固體材料研究及固體器件製作的科技人員閱讀，也可供大專院校師生參考．
圖書目錄
目錄
1．引言：固體結構與固體器件的製作 H.-J.奎瑟
2．高亮度X射線源 吉松滿 小崎茂
3．X射線光刻技術 E.斯皮勒 R.費德
4．X射線干涉量度術和中子干涉量度術 U.邦澤 W.格拉夫
5．截面形貌術 A.奧蒂埃
6．實時形貌術 W.哈特曼
參考文獻
補充參考文獻
索引
