WEI YAYI

WEI YAYI，男，中國科學院大學專職教師。

基本介紹

• 中文名：WEI YAYI
• 學位/學歷： 博士
• 職業：教師
• 性別：男

研究方向

193nm浸沒式光刻工藝；

計算光刻；

光刻材料研發；

光刻設備研發

教授課程

超大規模積體電路先進光刻理論與套用

專業研討課

超大規模積體電路先進光刻理論與套用