S波導偏轉腔束流測量儀

S波導偏轉腔束流測量儀是一種用於環境科學技術及資源科學技術領域的工藝試驗儀器，於2018年11月2日啟用。

基本介紹

• 中文名：S波導偏轉腔束流測量儀
• 產地：中國
• 學科領域：環境科學技術及資源科學技術
• 啟用日期：2018年11月2日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

頻率2.856GHz，偏壓2.2MV，分路阻抗不低於2.7MOhm。

主要功能

精確獲得電子束團長度信息，及用於發射度測量。