MOS管制備與測試虛擬仿真實驗是青島大學建設的虛擬仿真實驗課程。
基本介紹
- 中文名：MOS管制備與測試虛擬仿真實驗
- 建設院校： 青島大學
- 課程負責人： 單福凱
- 授課教師：劉國俠、楊振宇、姚釗、謝萬峰
課程性質,教學目標,
課程性質
課程背景
為順應國家大力發展積體電路的號召,解決當前急需的先進晶片製造“卡脖子”等問題,實驗團隊本著“學生為中心、問題為導向、實踐與創新”的實驗教學理念,依照“虛實結合、以虛補實”的原則,以“MOS管”這個核心器件為切入點,選取了MOS管的工藝製備和測試為主要內容,採用3 D建模、動畫、人機互動等技術,開發了此MOS管制備與測試虛擬仿真實驗,並將科學探究思想和最新研究成果融入虛擬實驗，旨在培養具有創新精神和實踐能力的卓越人才。
教學目標
《微電子專業實驗》是電子科學與工程專業的專業必修課程,其基 本任務是培養學生的實踐動手能力, 強化積體電路的工藝製造知識,使學生掌握微電子器件製造工藝和測試技能,培養學生運用理論知識解決實際問題的能力,提升其在積體電路製造領域的競爭力。
MOS管是組成積體電路中的核心器件,也是專業課程學習的重點器件之一,掌握MOS管的I I藝製備和性能測試等技能,可以改進器件的加工工藝,最佳化器件的性能,提高晶片製造的水平。實施本實驗可達到如下目標:
(1 )掌握MOS管的基本結構,理解其結構與性能的關係,為從事工藝設計或製造奠定理論基礎。
(2 )理解MOS管的工作原理及電學性質測試原理,培養綜合思維及創新能力。
(3 )掌握製備MOS管的基本單項工藝和工藝流程,培養綜合分析能力及思維創新能力。
(4 )學會測試MOS管電學性能的技術,培養自主學習的能力及理論與實際相結合的動手操作能力。
(5 )學會利用軟體分析實驗數據,培養學生歸納總結的習慣及分析解決問題的能力。
