《MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法》是2023年9月1日開始實施的一項中國國家標準。
基本介紹
- 中文名:MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法
- 外文名:Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device
- 標準類別:方法
- 標準號:GB/T 42191-2023
《MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法》是2023年9月1日開始實施的一項中國國家標準。
《MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法》是2023年9月1日開始實施的一項中國國家標準。編制進程2023年5月23日,《MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法》發布。2023年9月1日,《MEMS壓阻式壓力敏感器件性能...
這種感測器採用集成工藝將電阻條集成在單晶矽膜片上,製成矽壓阻晶片,並將此晶片的周邊固定封裝於外殼之內,引出電極引線。壓阻式壓力感測器又稱為固態壓力感測器,它不同於貼上式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過矽膜片感受被測壓力的。 矽膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣...
1.一種微型動態壓阻壓力傳感器的製造方法,其特徵在於包括以下步驟:1)用MEMS矽體微機械加工方法製造壓力敏感晶片,該壓力敏感晶片為微型E型矽杯力敏結構設計;2)該壓力敏感晶片背面用靜電鍵合工藝依次與Pyrex玻璃環片及日立合金環片焊接,形成矽背面接觸介質、準齊平封裝;3)該壓力敏感晶片背面氧化一層用於增強導電...
MEMS壓力傳感器主要套用在測量氣囊壓力、燃油壓力、發動機機油壓力、進氣管道壓力及輪胎壓力。這種感測器用單晶矽作材料,以採用MEMS技術在材料中間製作成力敏膜片,然後在膜片上擴散雜質形成四隻應變電阻,再以惠斯頓電橋方式將應變電阻連線成電路,來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力感測器有電容式、壓阻式、差動變壓器式、聲...
2014年11月6日,《壓阻式高頻高溫動態壓力傳感器》獲得第十六屆中國專利優秀獎。(概述圖為《壓阻式高頻高溫動態壓力感測器》摘要附圖)專利背景 始於20世紀70年代後期的MEMS技術使得先進的矽壓阻壓力感測器越做越小,從而矽壓阻力敏元件有了更高的固有頻率。美國Kulite公司和Endevco公司採用這一技術製成的微型方膜片...
壓力敏感元件 壓力敏感元件是2015年全國科學技術名詞審定委員會公布的計量學名詞。定義 可感受被測壓力的元件 出處 《計量學名詞》第一版
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