KDP晶體超精密飛切工具機

KDP晶體超精密飛切工具機是一種用於工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2019年11月21日啟用。

基本介紹

• 中文名：KDP晶體超精密飛切工具機
• 產地：中國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科、材料科學
• 啟用日期：2019年11月21日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

工作檯垂直方向剛度≥1500N/μm；加工範圍大於等於600*450mm；加工工件平面度誤差≤1.5μm（200*200mm鋁鏡）；表面粗糙度≤6nm。

主要功能

用於大口徑KDP晶體拋光。