CMS特種光纖及光纖器件處理平台是一種用於物理學、信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2019年8月29日啟用。
基本介紹
- 中文名：CMS特種光纖及光纖器件處理平台
- 產地：美國
- 學科領域：物理學、信息與系統科學相關工程與技術
- 啟用日期：2019年8月29日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 熱處理加工工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
（1）熔接範圍：125um-2.0mm； （2）加熱源溫度範圍：300~3000℃； （3）多種高效加熱方式：兼容三電極環形超穩等離子加熱技術與雙電極等離子電弧技術； （4）對準精度：X,Y軸精度50nm，Z軸精度50nm，仰角和偏角精度0.01°； （5）*左右夾具平台調節維度：含俯仰、左右偏角的多維度調整系統； （6）推進精度：0.1um； （7）*線上切割：壓電驅動式金剛石切割刀自動切割，光纖或者錐體石英包層直徑10~1000um，實時掃描光纖錐體； （8）*真空吸附功能：固定光纖夾具不能夾持的異型結構，實現光纖與異型結構的熔接； （9）拉錐功能：單向、雙向自動拉錐、自定義錐體，拉錐長度175mm，單向拉錐比例10:1，雙向拉錐比例50:1； （10）左右夾具平台：Z軸可調範圍：0-90mm； （11）左右夾具平台移動速度：0～3500μm/s可調； （12）掃描範圍：-7.5mm～ 7.5mm可調； （13）電極工作區：局部真空狀態； （14）火頭最大移動距離限制：0～48mm； （15）火頭步進：粗調0.1mm；微調50nm； （16）火頭移動速度：0～5000μm/s； （17）張力調節：0～65kg可選。
主要功能
（1）極高重複性的玻璃加工熱源，300~3000℃寬溫度範圍適用於多種光學組件製造； （2）高溫等離子區呈圓形，溫度均勻對稱，降低了錐區損耗，減少熱應力； （3）無污染熱源能夠生產超高強度萬瓦級光學組件； （4）最快的循環加工時間，根據標準熔接，拉錐，切割平均計算得出； （5）嵌入式電極冷卻系統，不間斷周期性工作； （6）獨有的自動俯仰調節，左偏右偏調節功能，小於0.01°解析度為端帽熔接，錐體熔接，拉錐前預對準提供了保障； （7）獨有的兩個和三個電極操作模式，支持最大化加熱區空間的靈活性； （8）獨有的熔接機內壓力控制模式，可以靈活的高重複性的配合不同的套用； （9）兩個垂直的成像系統具有5 mp像素，4.2。
